研究室概要

マイクロデバイス工学研究室では、MEMS(Micro Electro Mechanical Systems)に関する研究を幅広く行っています。

研究内容

積層構造メタマテリアル

RF-MEMSデバイス

ワッフル構造ミリ波導波管

環境モニタリングセンサネットワークシステム

高感度センシングのための金ナノロッド作製

マイクロ流体デバイス

テラヘルツデバイス

微生物燃料電池のBODセンサ応用

マイクロ予備濃縮器の高性能化